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MEMS （Micro Electro Mechanical Systems）は、電気的または機械的な機能を有する微小な構造体及びそのシステムであり、半導体加工などのマイクロ加工技術を用いて製作される。本講義で扱うバイオMEMSとは、医療や創薬などのバイオ分野に応用することを目的としたMEMSを意味し、例えば微量な血液で診断が可能なデバイスや培養細胞の機能解析を行うデバイスなどが研究開発されている。本講義では、バイオMEMSの基礎から応用までを習得することを目的に、マイクロ加工技術、マイクロセンサ・アクチュエータなどのMEMS技術、各種バイオMEMSデバイスの構造・原理及び応用例などについて解説する。

授業毎に配布資料を事前にダウンロードすること。

講義内容の理解度を深めるために、配布資料中のキーワードをインターネットで調査したり、配布資料中で紹介する参考文献等を利用して復習するとよい。